潔凈室環(huán)境中的空氣分子污染物AMC，內部來自建筑材料釋出、設備和材料釋出、腐蝕和光刻等工藝過程中化學藥品逸散、人員產生、管路泄露、設備維護修理時散發(fā)等，外部來自環(huán)境空氣中存在的氣相污染物，以及潔凈室的廢氣排放重新送回潔凈室。

AMC監(jiān)測空氣分子污染物系統(tǒng)介紹：

醋酸、草酸 、胺類、N-甲基吡咯烷酮(NMP)、六甲基二硅胺烷（HMDS）、鄰苯二甲酸二辛酯（DOP）、鄰苯二甲酸二丁酯（DBP）、鄰苯二甲酸二乙酯（DEP）、異丙醇、丙酮、硼酸*酯、二甲苯、磷酸三乙酯---等其他有機物

空氣分子污染物 (AMC) 對于高科技生產過程是關鍵性因素，特別是微電子行業(yè)，有機污染物是生產過程中的消極因素，會導致高科技公司因產品質量問題而產生的成本增加。

AMC監(jiān)測空氣分子污染物系統(tǒng)產品優(yōu)勢：

檢測限達到sub-ppb級

潔凈室環(huán)境中的空氣分子污染物AMC，內部來自建筑材料釋出、設備和材料釋出、腐蝕和光刻等工藝過程中化學藥品逸散、人員產生、管路泄露、設備維護修理時散發(fā)等，外部來自環(huán)境空氣中存在的氣相污染物，以及潔凈室的廢氣排放重新送回潔凈室。

一旦AMC空氣分子污染物超標會引起一系列嚴重后果，比如晶圓廢棄、停產、重新凈化潔凈室等。

空氣分子污染物問題:從潔凈間到生產機臺加工

隨著IC產品生產成本的增加，空氣分子污染物AMC的監(jiān)測變得越來越重要。

污染物從加工到超凈間的擴散，并且成份的增加，分子污染物來自多個源頭，比如生產化學藥劑、建筑材料、潔凈間設備裝置、操作人員等。

µ-VOC  系統(tǒng)意味著潛在鑒別空氣分子污染物與產生污染問題和減少污染問題之間的關聯，完整的全量程全組份實時sub-ppb級測量，提供早期AMC監(jiān)測和快速確定這些污染問題的原因。